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書誌情報

書名

すぐ使える洗浄技術　　装置・洗浄剤の機能と特徴　　

著者名 工業調査会／編
著者名ヨミ コウギョウ チョウサカイ
出版者 工業調査会
出版年月 2001.8

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1 中112700695576.5/ｽ/8書庫貸出可在庫  ○

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書誌詳細

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タイトルコード 1000001414323
書誌種別 図書
著者名 工業調査会／編
著者名ヨミ コウギョウ チョウサカイ
出版者 工業調査会
出版年月 2001.8
ページ数 358p
大きさ 21cm
ISBN 4-7693-4149-0
分類記号 576.5
書名 すぐ使える洗浄技術　　装置・洗浄剤の機能と特徴　　
書名ヨミ スグ ツカエル センジョウ ギジュツ
副書名 装置・洗浄剤の機能と特徴
副書名ヨミ ソウチ センジョウザイ ノ キノウ ト トクチョウ
内容紹介 洗浄装置と洗浄剤を中心に、洗浄装置の抱える技術課題や解決方法、装置選定のポイントの他、代表的な洗浄装置、代替洗浄剤について、それぞれ専門技術者が詳細に解説する。半導体・液晶製造現場の代替洗浄の事例も紹介。
件名1 洗浄法



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