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書誌情報

書名

プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用　　　　

著者名 市村 博司／著
著者名ヨミ イチムラ ヒロシ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2005.2

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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 中央般113200984549.8/ｲ/8一般書貸出可在庫  ○

書誌詳細

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タイトルコード 1000500037065
書誌種別 図書
著者名 市村 博司／著
著者名ヨミ イチムラ ヒロシ
著者名 池永 勝／著
著者名ヨミ イケナガ マサル
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2005.2
ページ数 9,276p
大きさ 21cm
ISBN 4-526-05420-8
分類記号 549.8
書名 プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用　　　　
書名ヨミ プラズマ プロセス ニ ヨル ハクマク ノ キソ ト オウヨウ
内容紹介 材料表面の機能を高めるための薄膜技術は、近年、機械部品、電子部品、光学部品などに応用され、急速に発展している。プラズマプロセスによる薄膜技術の全体像を解説する。
著者紹介 1941年東京生まれ。東京工業大学大学院博士課程修了。神奈川工科大学客員教授。
件名1 薄膜



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