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書誌情報

書名

薄膜工学　　　　第3版

著者名 日本学術振興会薄膜第131委員会／編集企画
著者名ヨミ ニホン ガクジュツ シンコウカイ ハクマク ダイヒャクサンジュウイチ イインカイ
出版者 丸善出版
出版年月 2016.11

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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 中央般114119290549.8/ﾊｸﾏ/9一般書貸出可在庫  ○

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書誌詳細

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タイトルコード 1007000687892
書誌種別 図書
著者名 日本学術振興会薄膜第131委員会／編集企画
著者名ヨミ ニホン ガクジュツ シンコウカイ ハクマク ダイヒャクサンジュウイチ イインカイ
著者名 金原 粲／監修
著者名ヨミ キンバラ アキラ
著者名 吉田 貞史／編著
著者名ヨミ ヨシダ サダフミ
著者名 近藤 高志／編著
著者名ヨミ コンドウ タカシ
出版者 丸善出版
出版年月 2016.11
ページ数 10,302p
大きさ 21cm
ISBN 4-621-30098-5
分類記号 549.8
書名 薄膜工学　　　　第3版
書名ヨミ ハクマク コウガク
内容紹介 薄膜分野に携わる研究者・技術者に最適な、基本技術の解説書。薄膜工学の基礎から、薄膜作製法、評価法、薄膜の機能と応用までをまとめる。近年広がりをみせる薄膜技術に対応するため、大幅な改訂を行った第3版。
件名1 薄膜



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