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書誌情報

書名

はじめての半導体洗浄技術　(ビギナーズブックス)　　　

著者名 小川 洋輝／著
著者名ヨミ オガワ ヒロキ
出版者 工業調査会
出版年月 2002.3

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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 中801235466549.8/ｵ/8書庫貸出可在庫  ○

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書誌詳細

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タイトルコード 1000001481130
書誌種別 図書
著者名 小川 洋輝／著
著者名ヨミ オガワ ヒロキ
著者名 堀池 靖浩／著
著者名ヨミ ホリイケ ヤスヒロ
出版者 工業調査会
出版年月 2002.3
ページ数 276p
大きさ 21cm
ISBN 4-7693-1212-1
分類記号 549.8
書名 はじめての半導体洗浄技術　(ビギナーズブックス)　　　
書名ヨミ ハジメテ ノ ハンドウタイ センジョウ ギジュツ
叢書名 ビギナーズブックス
叢書巻次 23
内容紹介 超LSIはクリーンネスとの闘いである。半導体洗浄技術の全貌について、技術の位置づけ、歴史、基礎的事項、具体的手法、評価法、今後の展望までを詳細に解説する。
件名1 半導体
件名2 洗浄法



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