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書誌情報

書名

はじめての半導体ドライエッチング技術 (現場の即戦力)   

著者名 野尻 一男/著
著者名ヨミ ノジリ カズオ
出版者 技術評論社
出版年月 2012.1


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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 401744669549.8/ノシリ/9一般書貸出可在庫 

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書誌詳細

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タイトルコード 1007000150997
書誌種別 図書
著者名 野尻 一男/著
著者名ヨミ ノジリ カズオ
出版者 技術評論社
出版年月 2012.1
ページ数 8,162p
大きさ 21cm
ISBN 4-7741-4940-0
分類記号 549.8
書名 はじめての半導体ドライエッチング技術 (現場の即戦力)   
書名ヨミ ハジメテ ノ ハンドウタイ ドライ エッチング ギジュツ
叢書名 現場の即戦力
内容紹介 ドライエッチングのメカニズムを極力数式を使わないで説明した入門書。プロセスから装置、新技術に至るまで系統的に理解できるように解説。ドライエッチング技術の今後の課題と展望についても言及する。
著者紹介 群馬大学大学院研究科修士課程修了。(株)日立製作所技術開発のリーダーなどを経て、ラムリサーチ(株)取締役・CTO。共著に「先端電気化学」など。
件名1 半導体



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