蔵書情報
この資料の蔵書に関する統計情報です。現在の所蔵数 在庫数 予約数などを確認できます。
書誌情報
書名 |
はじめての半導体ドライエッチング技術 (現場の即戦力)
|
著者名 |
野尻 一男/著
|
著者名ヨミ |
ノジリ カズオ |
出版者 |
技術評論社
|
出版年月 |
2012.1 |
この資料に対する操作
電子書籍を読むを押すと 電子図書館に移動しこの資料の電子書籍を読むことができます。
資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
No. |
所蔵館 |
資料番号 |
請求記号 |
配架場所 |
帯出区分 |
状態 |
貸出
|
1 |
東 | 401744669 | 549.8/ノシリ/9 | 一般書 | 貸出可 | 在庫 |
○ |
関連資料
この資料に関連する資料を 同じ著者 出版年 分類 件名 受賞などの切り口でご紹介します。
書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
タイトルコード |
1007000150997 |
書誌種別 |
図書 |
著者名 |
野尻 一男/著
|
著者名ヨミ |
ノジリ カズオ |
出版者 |
技術評論社
|
出版年月 |
2012.1 |
ページ数 |
8,162p |
大きさ |
21cm |
ISBN |
4-7741-4940-0 |
分類記号 |
549.8
|
書名 |
はじめての半導体ドライエッチング技術 (現場の即戦力) |
書名ヨミ |
ハジメテ ノ ハンドウタイ ドライ エッチング ギジュツ |
叢書名 |
現場の即戦力
|
内容紹介 |
ドライエッチングのメカニズムを極力数式を使わないで説明した入門書。プロセスから装置、新技術に至るまで系統的に理解できるように解説。ドライエッチング技術の今後の課題と展望についても言及する。 |
著者紹介 |
群馬大学大学院研究科修士課程修了。(株)日立製作所技術開発のリーダーなどを経て、ラムリサーチ(株)取締役・CTO。共著に「先端電気化学」など。 |
件名1 |
半導体
|
内容細目
前のページへ