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書誌情報

書名

薄膜工学　　　　第2版

著者名 金原 粲／監修
著者名ヨミ キンバラ アキラ
出版者 丸善出版
出版年月 2011.6

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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 中央般113627897549.8/ﾊｸﾏ/9書庫貸出可在庫  ○

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書誌詳細

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タイトルコード 1007000104085
書誌種別 図書
著者名 金原 粲／監修
著者名ヨミ キンバラ アキラ
著者名 吉田 貞史／編著
著者名ヨミ ヨシダ サダフミ
著者名 近藤 高志／編著
著者名ヨミ コンドウ タカシ
著者名 日本学術振興会薄膜第131委員会／編集企画
著者名ヨミ ニホン ガクジュツ シンコウカイ ハクマク ダイヒャクサンジュウイチ イインカイ
出版者 丸善出版
出版年月 2011.6
ページ数 12,295p
大きさ 21cm
ISBN 4-621-08414-4
分類記号 549.8
書名 薄膜工学　　　　第2版
書名ヨミ ハクマク コウガク
内容紹介 薄膜技術の基本事項から、微細加工技術を用いた2次元・3次元微細構造の導入や基板の大型化・高速化を可能にした装置技術、新しい薄膜作製手法、原子・分子スケールでの測定技術まで、分かりやすく解説する。
件名1 薄膜



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