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書誌情報

書名

薄膜技術の新潮流　(ケイブックス)　多彩な新規応用をカバー　　

著者名 平尾 孝／[ほか]共著
著者名ヨミ ヒラオ タカシ
出版者 工業調査会
出版年月 1997.7

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1 中801017898549.8/ﾊ/8書庫貸出可在庫  ○

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書誌詳細

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タイトルコード 1000000427747
書誌種別 図書
著者名 平尾 孝／[ほか]共著
著者名ヨミ ヒラオ タカシ
出版者 工業調査会
出版年月 1997.7
ページ数 258p
大きさ 19cm
ISBN 4-7693-1157-5
分類記号 549.8
書名 薄膜技術の新潮流　(ケイブックス)　多彩な新規応用をカバー　　
書名ヨミ ハクマク ギジュツ ノ シンチョウリュウ
副書名 多彩な新規応用をカバー
副書名ヨミ タサイ ナ シンキ オウヨウ オ カバー
叢書名 ケイブックス
叢書巻次 128
内容紹介 半導体、ディスプレイ、記録などのキーデバイスにおける、薄膜形成や微細加工技術の進展と技術レベルが、コストや性能を決定する。薄膜、加工技術の基礎から応用まで、最新情報を踏まえて解説する。
件名1 薄膜



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