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書誌情報

書名

フォトマスク技術のはなし  超LSI、液晶、プリント板を支える  

著者名 田辺 功/[ほか]共著
著者名ヨミ タナベ イサオ
出版者 工業調査会
出版年月 1996.8


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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 111868188549.7/フ/8書庫貸出可在庫 

書誌詳細

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タイトルコード 1000000369428
書誌種別 図書
著者名 田辺 功/[ほか]共著
著者名ヨミ タナベ イサオ
出版者 工業調査会
出版年月 1996.8
ページ数 262p
大きさ 21cm
ISBN 4-7693-1149-4
分類記号 549.7
書名 フォトマスク技術のはなし  超LSI、液晶、プリント板を支える  
書名ヨミ フォト マスク ギジュツ ノ ハナシ
副書名 超LSI、液晶、プリント板を支える
副書名ヨミ チョウエルエスアイ エキショウ プリントバン オ ササエル
内容紹介 フォトマスクは透明なガラス板の上に電子回路のパターンを光を通さない材料で形成した部品である。LSIなどの生産に欠かせないこの技術を紹介する。
件名1 リソグラフィー



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