蔵書情報
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書誌情報
書名 |
フォトマスク技術のはなし 超LSI、液晶、プリント板を支える
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著者名 |
田辺 功/[ほか]共著
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著者名ヨミ |
タナベ イサオ |
出版者 |
工業調査会
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出版年月 |
1996.8 |
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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
No. |
所蔵館 |
資料番号 |
請求記号 |
配架場所 |
帯出区分 |
状態 |
貸出
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1 |
中 | 111868188 | 549.7/フ/8 | 書庫 | 貸出可 | 在庫 |
○ |
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
タイトルコード |
1000000369428 |
書誌種別 |
図書 |
著者名 |
田辺 功/[ほか]共著
|
著者名ヨミ |
タナベ イサオ |
出版者 |
工業調査会
|
出版年月 |
1996.8 |
ページ数 |
262p |
大きさ |
21cm |
ISBN |
4-7693-1149-4 |
分類記号 |
549.7
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書名 |
フォトマスク技術のはなし 超LSI、液晶、プリント板を支える |
書名ヨミ |
フォト マスク ギジュツ ノ ハナシ |
副書名 |
超LSI、液晶、プリント板を支える |
副書名ヨミ |
チョウエルエスアイ エキショウ プリントバン オ ササエル |
内容紹介 |
フォトマスクは透明なガラス板の上に電子回路のパターンを光を通さない材料で形成した部品である。LSIなどの生産に欠かせないこの技術を紹介する。 |
件名1 |
リソグラフィー
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内容細目
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