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書誌情報

書名

はじめての薄膜作製技術　　　　第2版

著者名 草野 英二／著
著者名ヨミ クサノ エイジ
出版者 森北出版
出版年月 2012.11

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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 東401808845549.8/ｸｻﾉ/9一般書貸出可在庫  ○

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書誌詳細

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タイトルコード 1007000254247
書誌種別 図書
著者名 草野 英二／著
著者名ヨミ クサノ エイジ
出版者 森北出版
出版年月 2012.11
ページ数 7,160p
大きさ 22cm
ISBN 4-627-77452-0
分類記号 549.8
書名 はじめての薄膜作製技術　　　　第2版
書名ヨミ ハジメテ ノ ハクマク サクセイ ギジュツ
内容紹介 現代社会を支える基盤技術として欠くことのできない薄膜作製技術。その基礎から、真空蒸着法やスパッタリング法といった真空下における薄膜製作方法、薄膜の評価技術、応用までを解説する。
著者紹介 神戸大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。金沢工業大学バイオ・化学部教授。博士(工学)。
件名1 薄膜



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