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書誌情報

書名

半導体製造装置用語辞典　　　　第6版

著者名 日本半導体製造装置協会／編
著者名ヨミ ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2006.9

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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 中央般113280754549.8/ﾊ/8一般書貸出可在庫  ○

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書誌詳細

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タイトルコード 1000600192192
書誌種別 図書
著者名 日本半導体製造装置協会／編
著者名ヨミ ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2006.9
ページ数 10,564p
大きさ 21cm
ISBN 4-526-05740-1
分類記号 549.8
書名 半導体製造装置用語辞典　　　　第6版
書名ヨミ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
内容紹介 設計、マスク製作、ウェーハ製造、検査、設備・環境工程など、半導体デバイスを製造する7つの工程順に用語を分類・配列。製造フローチャートと各工程毎の用語の構成表も掲載。新しい技術用語を215語追加した第6版。
件名1 半導体-辞典



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