蔵書情報
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書誌情報
書名 |
マイクロリソグラフィー (Frontier technology series) IC,LSIはこうしてつくられる
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著者名 |
野々垣 三郎/著
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著者名ヨミ |
ノノガキ サブロウ |
出版者 |
丸善
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出版年月 |
1986.10 |
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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
No. |
所蔵館 |
資料番号 |
請求記号 |
配架場所 |
帯出区分 |
状態 |
貸出
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1 |
中 | 303094221 | 549.7/ノ/8 | 書庫 | 貸出可 | 在庫 |
○ |
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
タイトルコード |
1000000844064 |
書誌種別 |
図書 |
著者名 |
野々垣 三郎/著
|
著者名ヨミ |
ノノガキ サブロウ |
出版者 |
丸善
|
出版年月 |
1986.10 |
ページ数 |
116p |
大きさ |
19cm |
ISBN |
4-621-03115-5 |
分類記号 |
549.7
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書名 |
マイクロリソグラフィー (Frontier technology series) IC,LSIはこうしてつくられる |
書名ヨミ |
マイクロ リソグラフィー |
副書名 |
IC,LSIはこうしてつくられる |
副書名ヨミ |
アイシー エルエスアイ ワ コウシテ ツクラレル |
叢書名 |
Frontier technology series
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件名1 |
リソグラフィー
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内容細目
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