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書誌情報

書名

MEMSのはなし　(Science and technology)　　　

著者名 前田 龍太郎／編著
著者名ヨミ マエダ リュウタロウ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2005.1

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1 中801582370530/ﾏ/8書庫貸出可在庫  ○

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書誌詳細

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タイトルコード 1000500028369
書誌種別 図書
著者名 前田 龍太郎／編著
著者名ヨミ マエダ リュウタロウ
著者名 池原 毅／著
著者名ヨミ イケハラ ツヨシ
著者名 小林 健／著
著者名ヨミ コバヤシ タケシ
著者名 単 学伝／著
著者名ヨミ タン ガクデン
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2005.1
ページ数 6,126p
大きさ 19cm
ISBN 4-526-05404-6
分類記号 530
書名 MEMSのはなし　(Science and technology)　　　
書名ヨミ メムス ノ ハナシ
叢書名 Science and technology
内容紹介 電気回路、情報処理、センサ、光デバイスといった分野において頻繁に見られるようになった言葉「MEMS(微小電気機械システム)」。その製造方法、様々な応用と動作原理、設計手法について概説する。
著者紹介 独立行政法人産業技術総合研究所先進製造プロセス研究部門マイクロ実装研究グループグループ長。工学博士。
件名1 マイクロマシン



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