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書誌情報

書名

EUV時代の半導体リソグラフィ技術　(現場の即戦力)　　　

著者名 岡崎 信次／著
著者名ヨミ オカザキ シンジ
出版者 技術評論社
出版年月 2026.5

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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 中央般114552060549.7/ｲﾕﾌ/9新着本貸出可貸出中  ×

書誌詳細

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タイトルコード 1007001566017
書誌種別 図書
著者名 岡崎 信次／著
著者名ヨミ オカザキ シンジ
著者名 鈴木 章義／著
著者名ヨミ スズキ アキヨシ
著者名 上野 巧／著
著者名ヨミ ウエノ タクミ
出版者 技術評論社
出版年月 2026.5
ページ数 351p
大きさ 21cm
ISBN 4-297-15462-2
分類記号 549.7
書名 EUV時代の半導体リソグラフィ技術　(現場の即戦力)　　　
書名ヨミ イーユーヴイ ジダイ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ
叢書名 現場の即戦力
内容紹介 半導体集積回路の高集積化を牽引するリソグラフィ技術の基本と応用を詳述。超微細な構造を実現するナノインプリントリソグラフィ技術、光リソグラフィ技術の解像限界を突破するマルチパターニング技術などについて解説する。
著者紹介 ALITECS(株)に入社。IEEE Life Fellow、SPIE Fellow、応用物理学会Fellow。
件名1 リソグラフィー
件名2 半導体



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