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書誌情報

書名

よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み　(図解入門)　ファブから検査まで製造装置を俯瞰する　　第3版

著者名 佐藤 淳一／著
著者名ヨミ サトウ ジュンイチ
出版者 秀和システム
出版年月 2019.12

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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 南306016825549.8/ｻﾄｳ/9一般書貸出可在庫  ○
2 美　原512289125549.8/ｻﾄｳ/9一般書貸出可在庫  ○

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書誌詳細

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タイトルコード 1007000988778
書誌種別 図書
著者名 佐藤 淳一／著
著者名ヨミ サトウ ジュンイチ
出版者 秀和システム
出版年月 2019.12
ページ数 261p
大きさ 21cm
ISBN 4-7980-6037-8
分類記号 549.8
書名 よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み　(図解入門)　ファブから検査まで製造装置を俯瞰する　　第3版
書名ヨミ ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ
副書名 ファブから検査まで製造装置を俯瞰する
副書名ヨミ ファブ カラ ケンサ マデ セイゾウ ソウチ オ フカン スル
叢書名 図解入門
叢書名 Visual Guide Book
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
著者紹介 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ソニー(株)入社、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。
件名1 半導体



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