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書誌情報
| 書名 |
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み (図解入門) 製造装置の全体を俯瞰する
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| 著者名 |
佐藤 淳一/著
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| 著者名ヨミ |
サトウ ジュンイチ |
| 出版者 |
秀和システム
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| 出版年月 |
2010.5 |
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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
| No. |
所蔵館 |
資料番号 |
請求記号 |
配架場所 |
帯出区分 |
状態 |
貸出
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| 1 |
堺市駅 | 140791716 | 549.8/サ/8 | 一般書 | 貸出可 | 在庫 |
○ |
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
| タイトルコード |
1001000548408 |
| 書誌種別 |
図書 |
| 著者名 |
佐藤 淳一/著
|
| 著者名ヨミ |
サトウ ジュンイチ |
| 出版者 |
秀和システム
|
| 出版年月 |
2010.5 |
| ページ数 |
231p |
| 大きさ |
21cm |
| ISBN |
4-7980-2610-7 |
| 分類記号 |
549.8
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| 書名 |
よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み (図解入門) 製造装置の全体を俯瞰する |
| 書名ヨミ |
ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ノ キホン ト シクミ |
| 副書名 |
製造装置の全体を俯瞰する |
| 副書名ヨミ |
セイゾウ ソウチ ノ ゼンタイ オ フカン スル |
| 叢書名 |
図解入門
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| 叢書名 |
Visual Guide Book
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| 内容紹介 |
洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。 |
| 著者紹介 |
京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ナノフロント研究所代表。半導体技術コンサルタント、テクニカルライターとして活動。著書に「よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み」など。 |
| 件名1 |
半導体
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内容細目
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