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所蔵数 3 在庫数 3 予約数 0 発注数 0

書誌情報

書名

トコトンやさしい超微細加工の本　(B&Tブックス)　　　

著者名 麻蒔 立男／著
著者名ヨミ アサマキ タツオ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2004.1

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No. 所蔵館 資料番号 請求記号 配架場所 帯出区分 状態 貸出
1 東400596268549/ｱ/8書庫貸出可在庫  ○
2 西602215303549/ｱ/8書庫貸出可在庫  ○
3 美　原101538130549/ｱｻﾏ/9書庫貸出可在庫  ○

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書誌詳細

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タイトルコード 1000001689311
書誌種別 図書
著者名 麻蒔 立男／著
著者名ヨミ アサマキ タツオ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 2004.1
ページ数 159p
大きさ 21cm
ISBN 4-526-05226-4
分類記号 549
書名 トコトンやさしい超微細加工の本　(B&Tブックス)　　　
書名ヨミ トコトン ヤサシイ チョウビサイ カコウ ノ ホン
叢書名 B&Tブックス
叢書名 今日からモノ知りシリーズ
内容紹介 電子デバイスに欠かせないキーテクノロジーであり、ナノテクノロジーの中核技術として注目されている超微細加工について、半導体部品などへの適応を中心に、基礎を図解でやさしく解説する。
著者紹介 昭和9年愛知県生まれ。静岡大学工学部電子工学科卒業。日電バリアン(現、アネルバ)設立。同社取締役も務めた。現在、東京理科大学嘱託教授。著書に「真空の話」「薄膜作成の基礎」ほか。
件名1 電子工学
件名2 ナノテクノロジー



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