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書誌情報

書名

はじめての半導体リソグラフィ技術　(ビギナーズブックス)　　　

著者名 岡崎 信次／著
著者名ヨミ オカザキ シンジ
出版者 工業調査会
出版年月 2003.6

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1 中801456641549.7/ﾊ/8書庫貸出可在庫  ○

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書誌詳細

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タイトルコード 1000001621359
書誌種別 図書
著者名 岡崎 信次／著
著者名ヨミ オカザキ シンジ
著者名 鈴木 章義／著
著者名ヨミ スズキ アキヨシ
著者名 上野 巧／著
著者名ヨミ ウエノ タクミ
出版者 工業調査会
出版年月 2003.6
ページ数 305p
大きさ 21cm
ISBN 4-7693-1224-5
分類記号 549.7
書名 はじめての半導体リソグラフィ技術　(ビギナーズブックス)　　　
書名ヨミ ハジメテ ノ ハンドウタイ リソグラフィ ギジュツ
叢書名 ビギナーズブックス
叢書巻次 29
内容紹介 光、電子線、X線・EUVなど様々なリソグラフィ技術の原理、特徴などを述べるとともに、パターン形成に重要なマスク技術、レジスト技術、計測評価技術についてふれる。変遷の激しいリソグラフィ技術の全貌を解説した入門書。
件名1 リソグラフィー
件名2 半導体



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