蔵書情報
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書誌情報
書名 |
はじめての半導体製造装置 (ビギナーズブックス)
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著者名 |
前田 和夫/著
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著者名ヨミ |
マエダ カズオ |
出版者 |
工業調査会
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出版年月 |
1999.3 |
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資料情報
各蔵書資料に関する詳細情報です。
No. |
所蔵館 |
資料番号 |
請求記号 |
配架場所 |
帯出区分 |
状態 |
貸出
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1 |
中 | 801274572 | 549.8/マ/8 | 書庫 | 貸出可 | 在庫 |
○ |
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
タイトルコード |
1000001150530 |
書誌種別 |
図書 |
著者名 |
前田 和夫/著
|
著者名ヨミ |
マエダ カズオ |
出版者 |
工業調査会
|
出版年月 |
1999.3 |
ページ数 |
254p |
大きさ |
21cm |
ISBN |
4-7693-1169-9 |
分類記号 |
549.8
|
書名 |
はじめての半導体製造装置 (ビギナーズブックス) |
書名ヨミ |
ハジメテ ノ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ |
叢書名 |
ビギナーズブックス
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叢書巻次 |
3 |
内容紹介 |
すべての産業の中で最も先端的ともいえる半導体製造。その進歩の歴史、基本技術や実際の製造工程を解説。半導体市場や技術との関係から半導体製造技術をより広い視野でとらえる。 |
件名1 |
半導体
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内容細目
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