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資料情報
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No. |
所蔵館 |
資料番号 |
請求記号 |
配架場所 |
帯出区分 |
状態 |
貸出
|
1 |
中 | 112199351 | 549.8/ハ/8 | 書庫 | 禁予約 | 在庫 |
○ |
関連資料
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書誌詳細
この資料の書誌詳細情報です。
タイトルコード |
1000000446432 |
書誌種別 |
図書 |
著者名 |
日本半導体製造装置協会/編
|
著者名ヨミ |
ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ |
出版者 |
日刊工業新聞社
|
出版年月 |
1997.11 |
ページ数 |
547p |
大きさ |
22cm |
ISBN |
4-526-04090-8 |
分類記号 |
549.8
|
書名 |
半導体製造装置用語辞典 第4版 |
書名ヨミ |
ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン |
内容紹介 |
最近のLSI・超LSI製造技術、デバイス開発の目ざましい進歩や環境保護への取り組みの強化など、時代の要請を反映し、新用語の追加、内容の洗練を図った最新知識充実の辞典。 |
件名1 |
半導体-辞典
|
内容細目
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