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書名

半導体製造装置用語辞典　　　　第3版

著者名 日本半導体製造装置協会／編
著者名ヨミ ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1994.11

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1 中央般111666111549.8/ﾊ/8参考図書禁帯出在庫  ×

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書誌詳細

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タイトルコード 1000000270819
書誌種別 図書
著者名 日本半導体製造装置協会／編
著者名ヨミ ニホン ハンドウタイ セイゾウ ソウチ キョウカイ
出版者 日刊工業新聞社
出版年月 1994.11
ページ数 486p
大きさ 22cm
ISBN 4-526-03613-7
分類記号 549.8
書名 半導体製造装置用語辞典　　　　第3版
書名ヨミ ハンドウタイ セイゾウ ソウチ ヨウゴ ジテン
内容紹介 1.半導体製造フローチャートと装置用語の構成 2.設計工程用語 3.マスク製作工程用語 4.ウェーハ製造工程用語 5.ウェーハ処理工程用語 6.組立工程用語 7.検査工程用語 8.設備・環境工程用語<ソフトカバー>
件名1 半導体-辞典



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